油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比，油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的，因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中，而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速（与进气口面积相关）高而恒定， 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内，蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下，扩散泵都需配足够大小的前级泵（见技术数据），前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时，真空室必须通过阀（3）和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强，如扩散泵已准备完毕，可打开高真空阀（4）开始。真空室破空前，必须关闭前级真空阀（2）和高真空阀（4），扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸入口的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时，就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射，使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg，加水冷帽或冷阱捕集后，几乎可完全消除油返流。